[반도체 소자] MOSFET (1) 구조 및 공정
반도체 소자 과목에서 중요하게 다뤄지는 MOSFET에 대해 다뤄볼까합니다. 학부에서 배운 내용기반으로 오류가 있을 수 있다는점 참고 해주세요 :) 1. MOSFET? MOSFET = Metal-Oxide-Semiconductor Field Effect Transistor즉 금속, 산화막, Si 기판으로 이뤄진 트랜지스터를 말해요 Gate(G) - 전하의 흐름 유무를 조절하는 것으로, 수도꼭지랑 비슷한 개념입니다Source(S) - 전하의 공급원 Drain(D) - 전하가 빠져나가는곳 이때 소스와 드레인의 퍼텐셜 에너지 차이로 전자가 이동하게 되죠! n채널 MOSFET의 간략한 공정과정을 보면,p형 기판 위 초박막의 SiO2를 생장 후, high-k 절연막을 적층 -> 금속게이트 전극(이방성 RIE 에..
반도체 소자
2024. 8. 1. 12:59
